IS-PM 系列贵金属薄膜专用镀膜设备采用双腔室结构设计，工 艺腔+装/卸载腔，是工艺可靠性与制程效率的完美融合。设备配备一 套高能离子束清洗源（Ionbeam Cleaning Source），多套磁控溅射 源（Magnetron Sputtering Source），配合可靠的伺服电磁推进系 统，设备模块化程度高、稳定性好、操作简单且维护方便。